檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "陳良益".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="低壓化學氣相沉積法"
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本研究目的在於利用化學氣相沉積的程序變化模式,尋找在低溫下成長低電阻率且具有光學散射特性之粗糙表面氧化鋅鎵薄膜,最終目標在用來取代氧化銦錫當作為藍光發光二極體的透明導電接觸層。 考慮鎵源先驅…
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本研究目的在於探討以低壓化學氣相沉積的方式製備具有高光學散射結構的摻鎵氧化鋅薄膜,以及藉由不同之退火模式來提升因低溫成長而不足的薄膜電性,以期用於取代氧化銦錫作為藍光發光二極體的透明導電接觸層。 …